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紫外激光划片机
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激光调阻机
LTR 系列激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的荣誉产品,具有18年的发展历程。激光调阻机是先进的现代化片式电阻阻值修调设备,采用无机械接触式的激光加工工艺,具备生产速度快(80万只/小时),调阻精度高(1%、0.1%)等优点,在微电子行业广泛应用。该产品是集成光、机、电、算于一体的现代化高精密工业设备,修调阻值覆盖范围5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26种光刻刀形,主要用于生产厚膜、薄膜、金属膜、功能电路等各种尺寸规格(01005、0201、0402、0603、0805、1206等)的片阻产品。光华公司具有完全的自主知识产权,可以根据客户要求定制机型。
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