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产品名称

紫外激光划片机

产品描述

  UVS101

  紫外激光划片机

  UV Laser Scriber

  功能

  紫外激光划片机是01005片式电阻制程中的专用设备,是长春光华第四代激光划片机,采用全新工艺。通过高精密直线定位平台配合高功率激光器,实现高效、稳定的全自动划线。本设备具备高精度的视觉对位系统,通过俯视和仰视相机可以实现正面和反面划线,并保证两面的划线重合度。

 

工作范围

X/Y轴行程

mm

250/200

 

基片尺寸

mm

70×60(可选)

划线参数

划线速度

mm/s

400

 

划线深度

μm

10-100

光学系统

光斑尺寸

μm

10

 

激光波长

nm

355

 

激光功率

w

10

 

调焦精度

μm

<2

工作台

定位精度

μm

<1.2

 

旋转精度

1

视觉系统

图像系统

 

双CCD系统

控制系统

PCI板卡

 

8轴高速控制卡

机械参数

长/宽/高度

m

1/1.25/1.6

 

设备重量

kg

1000

 

  UV Laser Scriber

  PURPOSE

  This machine is designed to scribe on the ceramic substrate for 01005 chip resistors, it’s the fourth-generation laser scriber of CCGH, using completely new technology. The UV laser scriber provides full automatically cutting. It includes a high accuracy position linear stage with pattern align by high accuracy vision system, top and bottom side of CCD could achieve double side scribing on repeat relative position.

 

Working field

X/Y travel

mm

250/200

 

Chip size

mm

70×60(optional

Scribe Parameter

Scribe speed

mm/s

400

 

Scribe depth

μm

10-100

Optical system

Spot size

μm

10

 

wavelength

nm

355

 

Laser power

w

10

 

Focus accuracy

μm

<2

Platform

positioning accuracy

μm

<1.2

 

Rotating accuracy

1

Visual system

 

 

Dual CCD

Control system

PCI Card

 

8-axis controller

Mechanical parameters

Length/Width/Height

m

1/1.25/1.6

 

Device weight

kg

1000

 

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