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产品名称

晶圆测试探针台

产品描述

 

 

  APT121A晶圆测试探针台是晶圆探针检测的专用设备。它能够满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求,通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率探针相机及俯视相晶圆相机,实现全自动上下晶圆、对针和高精度测试。

 

功能指标

晶圆直径

mm

300/200

 

综合测试误差

μm

≤±2

 

Chuck承载力

Kg

200

高温测试

温控范围

30-150

 

温控精度

±2

精度指标

X/Y

μm

±0.5

 

Z轴

μm

±2

图像系统

晶圆/探针相机

倍率

低倍/高倍

 

图像采集卡

接口

2口/4口

控制系统

控制器

轴数

PMAC(8轴)x2

机械参数

检测单元

长/宽/高度

mm

1775/1095/1005

 

 

设备重量

kg

1750

 

上料单元

长/宽/高度

mm

1830/632/1617

 

 

设备重量

kg

550

 

  APT121A wafer test prober is a special device for wafer testing, which is suitable for testing 8-inch and 12-inch wafer. By position platform of high precision、wafer chuck of high rigidity、needle alignment unit camera and wafer alignment unit camera of high resolution, loading/unloading wafer automatically,alignment needles and testing are realized.

 

Function Index

diameter of Wafer

mm

300/200

 

comprehensive precision

μm

≤±2

 

bearing capacity of Chuck

Kg

200

High Temperature Testing

temperature controlling range

30-150

 

temperature control precision

±2

precision index

X/Y-axis

μm

±0.5

 

Z-axis

μm

±2

image system

Wafer/needle alignment camera

magnification

Low and high

 

image card

Port

2 ports /4 ports

control system

Controller

Axis number

PMAC(8 axes)x2

mechanical parameter

Prober unit

Length/width/height

mm

1775/1095/1005

 

 

Weight of machine

kg

1750

 

Loader unit

Length/width/height

mm

1830/632/1617

 

 

Weight of machine

kg

550

 

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