红外激光划片机
AS113S系列激光划片机是0201片式电阻制程中的专用设备。它适合小尺寸陶瓷基板的划线制程需求，通过高精密直线定位平台配合高功率激光器，实现高效、稳定的全自动划线。
本设备具备高精度的视觉对位系统，通过俯视和仰视相机可以实现正面和反面划线，并保证两面的划线重合度。
1、主要指标
|
工作范围 |
X/Y轴行程 |
mm |
250/200 |
|
基片尺寸 |
mm |
80*80（可选） |
|
|
划线参数 |
划线速度 |
mm/s |
400 |
|
划线深度 |
μm |
20-150 |
|
|
光学系统 |
光斑尺寸 |
μm |
20 |
|
激光波长 |
nm |
1070 |
|
|
激光功率 |
w |
100 |
|
|
调焦精度 |
μm |
<2 |
|
|
工作台 |
定位精度 |
μm |
<1.5 |
|
旋转精度 |
″ |
1 |
|
|
视觉系统 |
图像系统 |
|
双CCD系统 |
|
控制系统 |
PCI板卡 |
|
8轴高速控制卡 |
|
机械参数 |
长/宽/高度 |
m |
1.3/1.1/1.5 |
|
设备重量 |
kg |
980 |
2、产品特点
|
主要参数 |
性能描述 |
备注 |
|
划片质量 |
对0201划片，I分、II分划槽形貌符合气化层、热熔层深度1:1；深度、宽度等需达到技术要求；划片后破片率＜0.1%； |
见附图1 |
|
划片工艺 |
1.火山口高度0-4μm可调。 2.火山口呈现凹槽形貌，凹槽深度>3μm。 |
|
|
产能 |
以0201型号为例，连续生产完成正反面划线产能不少于380片/天。 |
|
|
精度 |
1.整机划片精度小于±5μm。 2.线间距pitch值误差小于±0.5μm。 3.划片后重合度≤5μm。 |
|
|
器件选型 |
1.使用西进划片机等同激光器（飞博）。 2.直线平台采用大银、东方马达等知名品牌。 3.质保期3年以上。 |
|
|
功能配置 |
1.划片机自带图形编辑功能，操作简单方便，并能提供数据输入错误提示、参数异常提醒等功能。 2.关键参数加入权限管理，避免误操作发生。 |
|
|
稳定性 |
划片机稳定性好，调试成功后质量及工艺可长期稳定维持，基本无正常操作情况下停机，维护一次可工作一个月以上。 |
|
相关产品
在线留言
手机网站
微信公众号
版权所有：长春光华微电子设备工程中心有限公司 吉ICP备18005366号-1 技术支持：中企动力长春