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产品名称

激光调阻机

LTR 系列激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的荣誉产品,具有18年的发展历程。 激光调阻机是先进的现代化片式电阻阻值修调设备,采用无机械接触式的激光加工工艺,具备生产速度快(80万只/小时),调阻精度高(1%、0.1%)等优点,在微电子行业广泛应用。 该产品是集成光、机、电、算于一体的现代化高精密工业设备,修调阻值覆盖范围5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、
产品描述

 

  激光调阻机

  激光调阻机系列产品是片式电阻生产线上不可缺少的高技术设备,它涉及光学、精密机械、计算机控制及高速高精密检测等多项技术领域,其用途是对片式电阻的阻值进行修整,使批量生产的片式电阻达到高的阻值精度。设备的工作原理是把激光器发出的脉冲激光束聚焦成十微米量级的光点,达到适当的能量密度,对电阻的导电体进行切割,使其膜层熔融、蒸发、气化,以改变电阻导电体的有效导电面积或有效导电长度,达到调整电阻阻值的目的。

  目前产品分为五个系列:(1)LTR420D系列,适用于常规片式电阻生产;

  (2)LTR420E系列,适用于超小型电阻生产;(3)LTR420F系列,适用于超低阻生产;

  (4)LTR530系列,适用于薄膜电阻生产;(5)LTR-FC系列,适用于功能电路激光修调。

  激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的名牌产品,具有完全自主知识产权,市场口碑很好,用户认可度高,产品占据国内主要市场,用户遍及台湾各大电阻生产厂商,出口日本、泰国、菲律宾、马来西亚等国家,目前全球片式电阻制造商的前五名都在采用光华公司的激光调阻机产品。

  Laser Trimming System

  LTR Series laser trimming system is the key equipment in the production line of chip resistor.It relates to the technical fields of optics , precision mechanism , computer control, high speed &high precision measurement, etc. It use the high energy pulse laser to focus very small beam spot ( about several ten micro meters ) on the material of the chip resistor, which make the material heat up, melt and gasify. The beam spot scan a graph by dual-galvanometers and vary the conductive length and area of the chip resistor, which vary the resistor's value.

  There are five series according to the application field: (1)LTR420D, thick film chip resistor;

  (2)LTR420E, small size chip resistor(0201,01005);(3)LTR420F, low ohm chip resistor;

  (4)LTR530, thin film chip resistor;(5)LTR-FC, functional circuits.

  LTR Series laser trimming system is the honor product of the CCGH Company. It has been developed 20 years. With complete independent intellectual property rights and good market reputation. Equipments occupy the main domestic market and customers throughout the major Taiwan resistance manufactures and exported to Japan, Thailand, Philippines, Malaysia and other countries. The world's top five chip resistance manufactures are using CCGH's laser trimming system.

  激光调阻样片

  

 

  功能调阻样片

  

 

激光器

波长

1.064μm(532nm,355nm选配) 

 

功率

>6w @ 10kHz(2w/532nm,1w/355nm) 

光束定位单元

扩束器

2-8X 

 

场镜焦距

170mm(100或125选配) 

 

聚焦光斑直径

30μm±10μm(10μm±2μm或17μm±3μm选配) 

 

扫描范围

65mm×10mm 

 

扫描速度

1~600mm/s 

机器视觉单元

视场范围

4mm×3mm 

测量单元

(1)电阻范围1Ω ~ 300M( 2mΩ ~ 1Ω 选配)

 

测量精度

低阻区

±0.02%±(1%/R) ( 1Ω <R < 50Ω)

 

 

中阻区

±0.02%

 

 

高阻区

±0.02%±0.02%每MΩ(100KΩ <R < 10MΩ)

 

(2)电压测量:0.1~32V(选配)

 

测量精度

小电压

±0.1%±5mV ( Volt <4V )

 

 

中电压

±0.1%±2mV

 

 

大电压

±0.1%±5mV ( Volt > 16V )

 

(3)保护电路:驱动电流,200mA(选配)

 

测量通道

24 ~ 240(每块继电器板有24通道,1-10块)

 

探针方式

2/4T--4Line

结构定位单元

(1)Y工作台

行程

300mm

 

 

定位精度

±10 μm

 

 

基板定位方式

边定位,真空吸附(中心定位选配)

 

(2)X工作台
(选配)

行程

30、75、100mm

 

 

定位精度

±10 μm

 

(3)Z光程

调节范围

<7mm(手动)

 

 

调节精度

10μm

功能电路单元(定制)

独立设置电路中每颗电阻的阻值、测量通道、刀型等信息,进行调阻

计算机与软件控
制单元

操作系统

XP 或WIN7

 

统计

合格率,OPEN率,HIGH或LOW率,良率超限报警

 

文件

调阻参数,系统控制设置、设备维护、生产数据记录等

 

LASER

Wavelength

1.064μm (532nm,355nm Optional )

Power

6w @ 10kHz2w/532nm,1w/355nm)

BEAM POSITION

Expender

2-8X

Focus Length

170mm(100  or 125  Optional)

Spot Size

30μm±10μm(10μm±2μm or 17μm±3μm Optional)

Trim Area

65mm×10mm

Speed

1~600mm/s

VISION

View Area

4mm×3mm

MEASURE

1)R Range:1Ω ~ 300M(2mΩ ~ 1Ω Optional)

Accuracy

Low

±0.02%±(1%/R) ( 1Ω <R < 50Ω)

Middle

±0.02%

High

±0.02%±0.02%/MΩ(100KΩ <R < 10MΩ)

2)DC Voltage Measurement:0.1~32V(Optional)

Accuracy

Low

±0.1%±5mV ( Volt <4V )

Middle

±0.1%±2mV

High

±0.1%±5mV ( Volt > 16V )

3)Guard Circuit:Drive Current,200mA(Optional)

Measure Channel

24 ~ 240(24 channels per board,1-10 boards)

Prober Card

2/4T--4Line

Motion/

Mechanics

(1)Y Linear Motor

Range

300mm

Accuracy

±10 μm

Chuck

Edge Position,Vacuum(Center  Position  Optional)

(2)X  Linear Motor      (Optional)

Range

30、75、100mm

Accuracy

±10 μm

(3)Z  Optics

Range

7mm(Manual)

Resolution

10μm

FUNCTIONAL

CIRCUIT TRIM

CUSTOM)

Independently settings for every resistor in the circuit

For example, target resistance value, test channel, cut graph etc.  

COMPUTER AND

SOFTWARE

Operating System

XP  Or  WIN7

Statistics

PASS,OPEN,HIGH  Or  LOW,Alarm

Files

Trim,System Control, PM, OEE,Data,Etc。

 

 

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