激光调阻机

LTR 系列激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的荣誉产品，具有18年的发展历程。激光调阻机是先进的现代化片式电阻阻值修调设备，采用无机械接触式的激光加工工艺，具备生产速度快（80万只/小时），调阻精度高（1%、0.1%）等优点，在微电子行业广泛应用。该产品是集成光、机、电、算于一体的现代化高精密工业设备，修调阻值覆盖范围5mΩ~200MΩ，具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26种光刻刀形，主要用于生产厚膜、薄膜、金属膜、功能电路等各种尺寸规格（01005、0201、0402、0603、0805、1206等）的片阻产品。光华公司具有完全的自主知识产权，可以根据客户要求定制机型。

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LTR420/530系列 激光调阻机技术指标

型号	LTR420D	LTR420E	LTR420F	LTR530A	LTR530B
基片型号	0402,0603	0201,0402	0805, 1206	0603,0805	0402
应用	厚膜	厚膜	超低阻	薄膜	薄膜
激光器功率	6W	6W	6W	3W	3W
扩束器	2—8	2—8	2—8	2—8	2—8
Fθ透镜焦距	163mm	163mm	163mm	100mm	100mm
光斑直径	25μm--35μm	25μm--35μm	25μm--35μm	8μm--12μm	8μm--12μm
扫描分辨率	1μm	1μm	1μm	1μm	1μm
扫描定位精度	±4μm	±4μm	±4μm	±2.5μm	±2.5μm
图像监视	CCD×1	CCD×1	CCD×1	CCD×1	CCD×1
图像定位		CCD×1			CCD×1
图像定位精度		±3μm			±3μm
测量范围	1Ω---300M	1Ω---300M	5mΩ---100Ω	1Ω---300M	1Ω---300M
测量响应时间	中阻区：18μs
测量分辨率	中阻区：0.005％
测量重复精度	中阻区： ±0.01％
测量精度	低阻区:±0.02％±(1％/R)( R< 50Ω); 中阻区:±0.02％; 高阻区: ±0.02％±0.02%每MΩ( R>250KΩ)
调阻控制精度	±5% ~ ±1%,	±5% ~ ±1%	±5% ~ ±1%	±5%~ ±0.1%	±5%~ ±0.1%
测量通道	192/240/288	192/240/288	192/240/288	192/240/288	192/240/288
探针形式	2/4T--4Line	2/4T--4Line	2/4T--4Line	2/4T--4Line	2/4T--4Line
载台定位分辨率	1μm	1μm	1μm	1μm	1μm
载台重复定位精度	±5μm	±5μm	±5μm	±5μm	±5μm
载台定位精度	±10μm	±10μm	±10μm	±10μm	±10μm