激光调阻机
LTR 系列激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的荣誉产品,具有18年的发展历程。激光调阻机是先进的现代化片式电阻阻值修调设备,采用无机械接触式的激光加工工艺,具备生产速度快(80万只/小时),调阻精度高(1%、0.1%)等优点,在微电子行业广泛应用。该产品是集成光、机、电、算于一体的现代化高精密工业设备,修调阻值覆盖范围5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26种光刻刀形,主要用于生产厚膜、薄膜、金属膜、功能电路等各种尺寸规格(01005、0201、0402、0603、0805、1206等)的片阻产品。光华公司具有完全的自主知识产权,可以根据客户要求定制机型。


AS101 激光划线机
本激光划线机是01005片式电阻制程中的专用设备。它适合小尺寸陶瓷基板的划电阻膜层制程需求,通过高精密直线定位平台配合激光器,实现高效、稳定的全自动在油墨上划线。


全自动测阻仪 ART-101
1.定位精度高,适用于超小型电阻测量。
2.适应性强,可测量不同规格的电阻。
3.全自动运行,速度快,效率高。
4.探卡更换快捷,使用和维护方便。
5.数据自动保存,可进行归集分析
6.机器性能稳定,适合长期运行。


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