芯片前道制程设备

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晶圆探针台

晶圆探针台

GPS1200晶圆测试探针台是晶圆探针检测的专用设备。它能够满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求，通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率仰视相机（探针相机）及俯视相机（晶圆相机），实现全自动上下晶圆料片、对针和高精度扎针，与测试机配合完成对晶圆上集成电路的品质检测。

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